[대전=뉴스핌] 김태진 기자 = 국내 연구진이 신개념 원자/분자레벨 나노 3D 프린팅 기술을 개발했다.
한밭대학교는 창의융합학과 김동수 교수 연구팀이 한국생산기술연구원, 한국과학기술원과 신개념의 AEM(Atomizer Electromagnetic Movable mask) 나노 3D 프린터 원천 기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
이 기술은 직경 5nm 이하, 100nm 이상 높이의 멀티 어레이 나노 패턴이 가능하다. 향후 RNA/DNA chip, 3D 입체 트랜지스터 개발 등으로 바이오 및 전자산업 분야 혁신을 앞당길 것으로 기대를 모으고 있다.
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| SEMTEM 원리를 이용한 AEM 나노 3D 프린팅 시스템 구성[사진=한밭대] 2021.05.04 memory4444444@newspim.com |
기존 ESD(Electrostatic Deposition) 장비의 나노 패터닝 수율이 30%인 반면 AC 솔레노이드코일을 이용한 AEM 나노 3D 프린터는 수율 100%로 나노 패터닝이 가능하다.
이밖에 기존 나노 선 패터닝에 국한됐던 한계를 넘어 나노 면 및 입체 패턴뿐만 아니라 멀티 어레이 패턴 제조가 가능하다는 점을 이론적 해석을 통해 입증했다.
이를 통해 나노 3D 프린터 관련 특허출원 6건, Nature Communication 논문 1편, 산업통상자원부 장관상, 신진학술상 등을 수상했다. SEM 전자현미경 구조의 신개념 AEM 나노 3D 프린터의 삼극특허출원을 진행 중이다.
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| 한밭대학교 김동수 교수 2021.05.04 memory4444444@newspim.com |
한밭대는 앞으로 기술 구체화를 위한 2단계에는 한국전자통신연구원, 한국전기연구원, 동경공업대학교의 3개 기관이 추가로 참여하며 한국플렉시블일렉트로닉스산업협회(KoPEA), 한국3D프린팅산업협회(3DPIA), 독일 프라운호퍼 등 약 150개 기업체 멤버십을 통해 바이오 및 전자산업 활성화와 기업체 기술이전, 신규기업 창업 등 활용도를 극대화 할 계획이다.
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