[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 유니셈이 반도체 공정용 친환경 이산화탄소(Co2) 칠러 개발에 성공하고 글로벌 메이저 파운드리 회사에 데모 장비 납품을 앞두고 있다고 11일 밝혔다.

이번 데모 테스트가 예정돼 있는 회사는 대만 소재 글로벌 탑티어 반도체 파운드리 회사다. Co2 칠러의 성능과 안정성 검증이 완료되면 세계 최초로 반도체 공정에 도입되는 친환경 칠러 장비가 된다. 유니셈은 이외에도 미국의 글로벌 주요 반도체 기업들과도 테스트 진행을 추진 중이다.

칠러는 세정, 증착, 식각 등 다양한 반도체 제조 공정에서 온도를 정밀하게 제어하는 필수 장비다. 정확한 온도 제어를 통해 공정 안정성을 확보하고 수율 향상에 중요한 역할을 담당하며, 반도체 제조 공정의 품질과 생산성에 직접적인 영향을 미친다.

유니셈 로고. [로고=유니셈]

유니셈이 개발한 Co2 칠러는 세계적으로 유해 냉매 사용을 금지하는 지구온난화지수(GWP) 규제가 강화되고 있는 추세에 부합하는 친환경장비다. 기존 칠러에서 주로 사용되는 R-404A 냉매는 3922 GWP인 반면, Co2 칠러는 1 GWP에 불과하며 독성이 없고 불연성이라 안전하다는 특성을 가지고 있다.

전 세계적으로 GWP 규제는 점차 강화되는 추세로, 한국을 비롯한 많은 국가에서 관련 법규를 정비하고 있다. 국제 협약과 각국의 환경 정책에 따라 고GWP 물질의 사용은 오는 2027년 GWP 750 이하, 2030년 GWP 150 이하로 단계적 의무화가 진행되고 있으며 유니셈의 Co2 칠러는 이러한 환경 규제에 선제적으로 대응한 결과물이다.

유니셈 관계자는 "반도체 산업은 초미세 공정화와 함께 제조 과정 속 친환경화가 중요한 과제로 부상하고 있다"며 "유니셈은 반도체 공정 장비 친환경화를 선도하고 선제적으로 대응해 세계적인 메이저 파운드리 회사에 데모 테스트 납품 및 세계 최초 Co2 칠러 반도체 공정 도입을 달성했다"고 밝혔다.

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