[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 전자현미경 기반 산업장비 전문기업 코셈이 세계 최초 그래핀 기반 대기압 전자현미경(Eirtron) 상용화 기술로 국가 공인 신기술(NET) 인증을 획득했다고 19일 밝혔다.

코셈의 대기압 전자현미경은 전자빔이 발생하는 헤드 영역만 고진공 상태를 유지하고 시료 공간은 대기압 상태를 유지하는 구조다. 1나노미터 수준의 그래핀 멤브레인을 적용해 공기는 차단하면서 전자빔만 통과시키는 기술을 구현했으며, 기존 전자현미경의 진공 제약 문제를 극복했다.

회사에 따르면 해당 기술은 HBM 첨단 패키징 및 AI 반도체 시장의 핵심 검사 솔루션으로 주목받고 있다. 최근 HBM은 TSV(실리콘관통전극), 하이브리드 본딩 등 첨단 패키징 공정이 고도화되면서 수십 나노미터 수준의 미세 결함 검출이 중요해지고 있다.

코셈의 대기압 전자현미경은 별도의 진공 배기 과정 없이 1초 이하의 검사 속도를 구현했으며 300mm 웨이퍼를 절단 없이 검사할 수 있어 비파괴·실시간 나노 검사가 가능하다. 이를 통해 반도체 생산라인 환경 내 전수 검사 적용과 글로벌 외산 중심 첨단 검사 장비 시장 내 국산화 수요 대응이 기대된다.

코셈은 올 하반기부터 글로벌 반도체 대기업 공급망 확대와 바이오 시장 진입을 추진하고 있다. 아울러 AI 기반 지능형 자동 분석 솔루션을 결합해 하드웨어와 소프트웨어를 아우르는 차세대 분석 플랫폼 경쟁력을 강화할 예정이다.

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