"연말 샘플 생산, 내년 상반기 실제 사용"
[서울=뉴스핌] 심지혜 기자 = SK그룹 계열사 SK머티리얼즈가 고순도 불화수소(에칭가스) 개발에 나선다. 고순도 불화수소는 반도체·디스플레이 생산 공정에 사용되는 소재로 일본 정부가 수출을 규제하면서 국산화 필요성이 높아진 품목이다.
SK머티리얼즈는 연말까지 고순도 불화수소 샘플 생산을 계획하고 있다고 26일 밝혔다. 이를 위한 투자 규모나 순도 정도 등은 구체화하지 않았다.
SK머티리얼즈 관계자는 "회사의 대표 제품이 반도체 웨이퍼를 세정하는 삼불화질소인데, 삼불화질소를 만들기 위한 원료로 불화수소를 사용해왔다"며 "불화수소를 오랜 기간 다루다 보니 고순도 불화수소 생산에 대한 자신감이 생겼고, 제품 다변화 차원에서 양산을 추진하게 됐다"고 설명했다.
최종 목표는 내년 상반기 실제 공정에 투입될 수 있도록 하는 것이다. 이 관계자는 "올해 말 또는 늦어도 내년 초까지 고순도 불화수소 샘플을 만들어 내년 상반기 반도체 공정에 적용될 수 있도록 하는 계획을 갖고 있다"고 했다.
SK머티리얼즈가 개발에 착수한 고순도 불화수소는 가스 형태다. 반도체 생산 공정에는 액체 형태와 가스 형태 두 가지 모두 쓰이지만 미세 공정으로 갈수록 기체가 더 많이 사용돼 향후 더 경쟁력 있는 소재로 평가 받는다.
SK머티리얼즈는 반도체 디스플레이 패널 제조에 사용되는 특수가스를 생산하고 있다. SK머티리얼즈는 SK㈜가 49%의 지분을 갖고 있다.
앞서 일본 정부는 지난 4일부터 반도체, 디스플레이 생산 공정에 필요한 소재인 고순도 불화수소와 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드 등 3가지에 대한 수출 규제를 시작했다.
불화수소는 일본에서 41.9% 비중으로 수입하고 있으며, 99.999% 이상 고순도 제품은 90% 이상 의존하고 있는 것으로 알려졌다.
sjh@newspim.com
