[고영화의 중국반도체] <6> 中 반도체 장비 국산화 몇 년 걸릴까 <下>

기사입력 : 2022년09월01일 09:11

최종수정 : 2022년09월01일 17:28

<上편에서 이어짐>

◆ 이탕반도체(Best-Semi), 미국 멧슨(Mattson) 인수 통해 건식식각기 기술 확보

이탕반도체(屹唐半导体, Best-Semi, 비상장)는 중국 중앙정부 국유기업 이좡궈퉈(亦庄国投)의 손자회사로 2015년 베이징경제기술개발구에 설립되었다. 설립과 동시에 2016년 미국 메슨 테크놀로지를 인수하여 선진 반도체 장비 기술을 확보하고, 2018년 베이징에 생산기지를 건설하여 사업기반을 더욱 단단히 다졌다. 2021년 8월 상하이 과창판 등록심사를 통과했으며 곧 상장을 앞두고 있다.

멧슨 테크놀로지(Mattson Technology, 나스닥: MTSN)는 1988년 켈리포니아 프리몬트에 설립되었고, 1994년 나스닥에 상장되었다. 1995년 괘속열처리(RTP) 장비를 첫 고객에게 인도했고, 1996년 식각 장비를 처음 납품했다. 2005년 건식PR(포토레지스트)제거(Dry Stripe) 장비를 출시했고, 2007년 'paradigmE' 건식식각(Dry Etch) 장비를 출시한 후, 2016년 5월 중국 이탕반도체에 인수되었다.

이탕반도체도 멧슨 인수 이후, 지속적으로 장비사업을 확장했다. 2018년에 베이징에 반도체 장비 공장을 설립하고 가동했으며, 2019년에는 'Novyka' 식각 및 표면처리 장비를 출시했고, 2020년에는 'Helios V' 쾌속 열처리 장비를 출시하는 등 신제품 개발을 이어갔다.

Gartner 자료에 의하면, 건식PR제거 장비는 2020년 세계시장 점유율 31.29% (1위)를 기록했고, 쾌속열처리 장비는 세계시장 11.50% (AMAT 이어 2위)를 기록하면서 두각을 나타냈다.

하지만 최근 이탕반도체가 더욱 주목을 받는 것은, 건식식각(Dry Etch) 장비가 65-5nm 시스템반도체, 10nm 계열 D램, 그리고 32~128단 3D 낸드플래시 제조에 적용될 수 있어, 미국의 선진 식각장비를 대체할 중국산 대안으로 기대되기 때문이다.

과창판 IPO 신청서에 따르면, 이탕반도체의 2021년 상반기 매출은 14억2000만 위안, 순이익 9520만위안이며, 특히 해외매출 비중이 67.7%로 괭장히 높은 수준이다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 건식식각기 'paradigmE' (출처: 이탕반도체 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 기대주 성메이상하이,신웬마이크로, 화하이칭커 및 즈춘과기

성메이상하이(盛美上海, ACM Research, 688082.SH)는 2005년 미국 ACM Research의 중국지사로 설립되었으며, 현재는 반도체 세정 장비의 중국 선두 업체이다. 2022년 상반기 예상실적을 보면, 매출 75% 증가, 순이익 160% 증가 등 큰 성장이 기대된다.

미국 ACM Research(나스닥:ACMR)는 중국계 미국인 후이 왕(Hui Wang) CEO가1998년 설립한 나스닥 상장 회사다. 독보적인 메가음파(Megasonic) 기술을 활용한 반도체 습식 세정 장비를 개발했고 전기도금 장비 입식열처리로 연마(CMP) 장비 등도 개발했다. 현재 상하이, 베이징, 한국, 대만, 미국에 지사를 설립했으며, 성메이 상하이의 지분 82.5%를 보유하고 있다.

신웬마이크로(芯源微, KINGSEMI, 688037.SH)는 중국 유일의 반도체 현상(Developing) 장비 전문회사이며, 28nm 현상 장비 외 PR 코팅기, PR스프레이, PR제거, 3세대 반도체 습식 식각기, 싱글 세척기 등을 개발 하고 있다.

신웬마이크로는 선양시 정부, 중국과학원 선양자동화연구소, 랴오닝 성정부가 공동 출자하여 2002년 선양시(沈阳市)에 설립했다. 2022년 상반기 실적 예상을 보면, 매출은 43.7% 증가, 순이익은 97.9% 증가가 기대된다.

화하이칭커(华海清科, HWATSING, 688120.SH)는 톈진시 정부와 칭화대학이 공동 출자하여 2013년 텐진에 설립한 반도체 연마광택(CMP) 장비 전문기업이다. 45~14nm급 12" CMP 장비 및 4"~8" CMP 장비를 공급하고 있으며, 12" 고급 제품이 매출의 85%를 넘고 있으나, 국내 매출 비중이 100% 이다.

주요 고객은 창장메모리(YMTC)과 화홍그룹(Huahong)이며, 2022년 상반기 예상실정을 보면, 매출 144% 증가, 순이익 163% 증가 등 큰 폭의 경영실적 향상이 기대된다.

즈춘과기(至纯科技, PNC, 603690.SH)는 고순도(기체/액체) 공정시스템, 반도체 습식 식각/세정 장비, 광센서 및 광소자 등을 주력 사업으로 하고 있다. 2000년 상하이에 설립되었고, 2022년 1분기 매출은 137.0% 증가했지만, 순이익은 70.8% 감소했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 중국 유일의 28nm 반도체 현상(Developing) 장비인 신웬마이크로(KINGSEMI)의 'KS-FT200/300' (출처: 신웨마이크로 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국 반도체 장비 국산화율 20%에도 못미쳐

중국의 반도체 장비 국산화 수준을 가늠하기 위해, 중국 유일한 낸드플래시 메모리 기업 창장메모리(YMTC, 长江存储)를 사례로 살펴보자. 이 회사는 14nm 공정 파운드리 SMIC(중신국제), 19nm 공정 D램 양산기업 창신메모리(CXMT) 등과 함께 중국 최고의 장비 기술을 보유한 공장이다.

참고로 창장메모리는 22nm 공정의 제조라인을 보유하고 있으며, 2019년 9월부터 64층 256Gb TLC 3D 낸드플래시 제품을 양산했고, 2020년 4월부터는 128층 QLC 3D 낸드플래시(모델: X2-6070)를 월 6만장씩 양산 중에 있다.

창장메모리의 중국산 장비 도입 현황을 세분화된 공정별로 살펴보면, 식각, 화학증착, 연마, 세정 등 공정에서 중국산 장비 활용을 확대하고 있으나, 2020년을 기준으로 볼때 종합적인 국산화율은 16.1%에 불과하다.

현재 중국 반도체 장비 산업은 반도체 장비 선진국들과 기술 및 제품화 수준 격차가 상당히 많이 난다고 볼 수 밖에 없다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =2020 창장메모리(YMTC) 중국산 장비 도입 비중 (출처: 팡정증권(方正证券)， 2021.1) 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 반도체 장비 '위기' 극복 위해 "양탄일성(两弹一星)" 정신으로 무장

2021년 9월 중국 공산당 100주년을 맞이하여, 중국공산당 중앙위원회는 '양탄일성'을 공산당원 정신 중 하나로 선정했다. 중국공산당 100년 역사 중 가장 중요한 과학적 성과라는 양탄일성이 의미하는 것은 무엇인가.

1945년 일본이 두차례 핵 공격을 받고 연합군에게 '항복'하는 것을 지켜본 중국은, 6.25 전쟁에 참전한 이후 미국이 중국 본토에 대해 핵공격을 하지는 않을까 하는 절대절명의 위협을 느끼고 있었다.

실제로 미국은 6.25 기간 중에 '북한 및 중국에 26개 핵폭탄 투하 목표지역을 선정'하고 맥아더 사령관에게 핵무기 사용권을 부여했다는 얘기가 전해지고 있다.

1949년 10월 신중국 건국 전 베이징에 입성한 중국 공산당 지도자들은 '수도 베이징에 탱크는 커녕 트랙터 한대 만들 만한 변변한 시설이 없다'고 한탄했다. 1950~1960년대 경제나 과학기술 모두 불모지 같은 상황에서 중국은 1964년 원자폭탄, 1967년 수소폭탄, 1970년 인공위성 발사를 성공시켰다. 중국은 이를 일컬어 "양탄일성(两弹一星)"이라고 한다.

중국 당국은 신중국 건국 70주년 기념 영화 '나와 나의 조국'(我和我的祖国, 2019년 상영)과 중국공산당 100주년 기념 영화 '나와 나의 부모'(我和我的父辈, 2021년 상영)에서 '양탄일성'을 위해 생애를 바친 많은 인민들의 희생을 기리고 있다. 요즘 중국은 미중 기술 전쟁의 와중에서 반도체 굴기를 성공시키기 위해 또다시 과거 '양탄일성' 정신을 되새기고 있는 것 같다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = '2021년 전국 과학기술행사주간 및 베이징 과학기술주간' 행사가 열리는 중관춘 국가자주창신시범구 전시장 중간에 전시된 원자탄, 수소탄, 인공위성 모형 (출처: 저자 촬영, 2021.5). 2022.09.01 chk@newspim.com

<필자 약력>

베이징대학 한반도연구소 연구원
중국 한국창업원 원장
SV인베스트먼트 고문
전 산업은행 베이징지점 고문
서울대 조선해양공학 학사/석사

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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[콘리뷰] 5만여 팬 콜드플레이에 열광 [고양=뉴스핌] 이지은 기자 = 서로가 서로의 팬이었다. 세계적인 록 밴드 콜드플레이가 공연장을 가득 채운 한국 팬들에게 매료됐고, 공연장을 가득 채운 팬은 8년 만에 한국을 찾은 콜드플레이에게 사로잡혔다. 콜드플레이가 16일 경기 고양시에 위치한 고양 종합운동장에서 '라이브 네이션 프레젠츠 콜드플레이: 뮤직 오브 더 스피어스 딜리버드 바이 디에이치엘'을 개최했다. 이는 2017년 첫 내한 이후 8년 만의 두 번째 공연이며, 이날 첫 공연에는 약 5만명이 운집됐다. [서울=뉴스핌] 이지은 기자 = 영국 록밴드 콜드플레이가 2017년 이후 8년 만에 두 번째 내한공연을 열었다. [사진=콜드플레이 인스타그램] 2025.04.16 alice09@newspim.com 이날 콜드플레이는 등장부터 화려했다. 무대 뒤에서 나오는 것이 아닌, 메인무대와 돌출무대 사이에 마련된 곳에서 나와 시작부터 팬들과 인사를 나눴다. 보컬 크리스 마틴은 돌출무대에서 마치 지휘자처럼 손동작으로 5만명의 관객을 지휘했고, 그의 손짓에 팬들은 단숨에 매료됐다. 콜드플레이는 해외 가수의 내한공연에서 볼 수 없었던 최다·최대 규모의 공연을 갖게 됐다. 크리스 마틴은 첫 곡 '뮤직 오브 더 스피어스(MUSIC OF THE SPHERES)'가 끝난 후 "안녕하세요"라며 한국말로 공연장을 가득 채운 팬들에게 인사를 건넸다. 첫 곡이 끝난 후 두 번째 곡인 '하이어 파워(HiGHER POWER)'에서는 형형색색의 공이 무대에 퍼져나갔고, 스탠딩석의 팬들은 공을 서로에게 튕김과 동시에 무대를 즐기며 공연과 하나 된 모습을 보였다. 특히 크리스 마틴은 무대 중간 "다 같이 몸을 웅크리자"라고 말했고, 관객들은 그의 카운트다운에 다 같이 뛰어 올랐다. '어드벤처 오브 어 라이프타임(ADVENTURE OF A LiFETiME)'에 이어 '파라다이스(PARADiSE)'에서 메인 보컬은 형형색색의 응원팔찌로 물든 무대를 바라보기 시작했고, 팬들은 떼창으로 환호했다. 크리스 마틴은 "감사합니다, 감사합니다"라고 말했고, 곧이어 '더 사이언티스트(THE SCiENTiST)'를 무대를 이어나갔다. 크리스 마틴은 직접 피아노 연주를 하며 노래를 불렀고, 팬들은 휴대폰 플래시 불빛을 터트리며 감미로운 무대를 즐겼다. 그는 "한국어가 조금 서툴러도 이해해주세요. 여러분 반갑습니다. 여러분과 함께 해서 행복합니다"라고 말했다. 이어 "다시 오려고 했던 저희의 꿈이 이루어졌다. 여기 온 모두 환영한다"고 덧붙였다. 콜드플레이는 '더 사이언티스트' 곡 말미를 관객들과 함께 불러줄 것을 요청했고, 팬들은 하나 된 목소리로 노래를 부르며 화답했다. 이번 공연의 묘미는 이들의 히트곡이자, 한국에서도 큰 사랑을 받은 '비바 라 비다(Viva La Vida)'에서 터졌다. 전주의 시작과 동시에 팬들은 함성을 내질렀고, 밴드 모두 돌출무대에 곡을 진행했다. '비바 라 비다' 무대에서는 객석의 팬들도 모두 자리에서 일어나 무대를 즐겼다. 뜨거운 열기는 '힘 포 더 위켄드(HYMN FOR THE WEEKEND)'로 이어졌다. 세계적인 밴드인 만큼 부드러운 피아노 선율에 파워풀한 드럼과 묵직한 베이스, 화려한 기타 사운드가 공연장을 가득 채웠다. 크리스 마틴은 다음 곡을 이어가기 전, 콜드플레이의 팬이자 안전요원을 무대 위로 불러 함께 노래를 부르며 남다른 이벤트를 선보였다. 이어 '찰리 브라운(CHARLiE BROWN)', '옐로우(YELLOW)', '올 마이 러브(ALL MY LOVE)'로 무대를 쉼 없이 소화했다. 특히 이들이 처음으로 내한 공연을 했을 당시, 공연 중 세 번째 날은 세월호 3주기였고, 이번에는 11주기에 한국을 찾았다. 매 무대마다 형형색색으로 빛났던 응원팔찌는 '옐로우' 무대에서 노란색 빛으로 공연장을 환하게 빛냈다. 브릿팝의 대표 주자이자, 대표밴드인 콜드플레이는 매 공연마다 화려한 밴드 사운드와 남다른무대 매너로 매 곡마다 팬들을 장악했다. '휴먼 하트/피플 오브 더 프라이드(HUMAN HEART/PEOPLE OF THE PRiDE)', '클락스(CLOCKS)', '위 프레이(WE PRAY)', '더 라이트클럽 2025(THE LiGHTCLUB 2025)', '마이 유니버스(MY UNIVERSE)', '어 스카이 풀 오브 스타스(A SKY FULL OF STARS)'로 공연은 어느덧 말미를 향해 달려갔다. 특히 '위 프레이'에서는 본 공연 전 게스트로 무대를 꾸몄던 칠레 출신 싱어송라이터 엘리아나와 트와이스가 깜짝 등장해 무대를 함께 꾸몄다. 공연 말미에는 '선라이즈(SUNRiSE)'로 분위기를 180도 바꿨다. 이들은 스탠드석 뒷쪽에 마련된 간이 무대에 올라 감미로운 곡을 이어갔다. 이어 '스파크스/점포트론(SPARKS/JUMBOTRON)', '뷰티풀/픽스 유(BiUTYFUL/FiX YOU)', '굿 필링스(GOOD FEELiNGS)', '필스 라이크 아임 폴링 인 러브(feelslikeimfallinginlove)'와 '어 웨이브(A WAVE)'로 마지막을 알렸다. 콜드플레이는 오는 18·19·22·24·25일에도 경기 고양 고양종합운동장에서 내한 공연을 이어가며, 6회 공연에 총 30만명이 함께 할 예정이다. alice09@newspim.com 2025-04-16 22:11

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[단독] 이재명 '미래혁신특구' 공약 검토 [서울=뉴스핌] 지혜진 기자 = 더불어민주당이 이재명 전 대표의 대선공약으로 지역균형발전을 위한 '미래혁신특구(가칭)'를 검토 중이다. 각 특별구역(특구)에 지방규제설계권을 부여해 지방자치단체가 특례를 설계하고 조례화할 수 있게 재량권을 부여한다는 아이디어다. 18일 이언주 민주당 최고위원이 이끄는 경제 공약 싱크탱크인 미래경제성장전략위원회(미래위)에 따르면 미래위는 이같은 내용을 담은 '미래혁신특구 특별법안'을 대선공약으로 검토하고 있다. [서울=뉴스핌] 정일구 기자 = 이재명 더불어민주당 대표가 지난 9일 오전 서울 여의도 국회에서 열린 최고위원회의에서 모두발언을 하고 있다. 이날 이 대표는 조기 대선 출마를 위해 당 대표 사퇴 의사를 밝혔다. 2025.04.09 mironj19@newspim.com 기존에도 규제자유특구를 비롯해 투자선도지구·도시재생혁신지구·관광특구 등 다양한 특구·지구가 마련돼 있지만 개별적으로 운영되고 법적 기반도 다양한 부처에 흩어져 있어서 종합적인 정책 실행에 한계가 있다는 문제의식이다. 특구 제도는 일정 지역을 특구로 지정해 규제 특례를 적용함으로써 지역경제 활성화와 일자리 창출을 유발하기 위해 도입된 제도다. 현재 우리나라 지역 특구는 1000여개에 육박한 상황이지만, 지역별 나눠주기식으로 특구가 지정되는 등 제도 역량이 집중되지 못한다는 지적이 나온다. 민주당은 대선공약으로 국무총리실 산하 전문위원회인 '미래혁신위원회'로 조직을 개편해 기존의 개별 특구들을 일괄적으로 관리하는 방안을 검토 중이다. 중장기적으로는 정부조직으로 '균형성장발전부'를 신설해 관계 부처, 지자체, 민간전문가 등이 협력체계를 구축하도록 한다는 구상이다. 특구의 유형으로는 ▲기회발전특구(기업·공공기관 유치) ▲문화특구(문화·관광·창작·콘텐츠 등 지원) ▲재생특구(농어촌·도시재생+산업복합개발) ▲의료특구(디지털헬스·원격의료 등 지원) ▲창업특구(스타트업 육성) 등이 논의되고 있다. 미래혁신특구 특별법이 만들어지면 조성된 특구에 전적으로 자율권을 부여할 것으로 보인다. 규제를 마련할 때도 허용된 범위를 나열하는 '포지티브 방식'이 아닌 금지행위만 명시하는 '네거티브 규제 원칙'을 적용하는 방식을 검토하고 있다. 또 관할 지자체가 특례를 설계하고 조례화할 수 있도록 한다. 이외에도 조세감면, 입지제공, 금융지원, 인력·고용 연계 등도 지자체가 자율적으로 설계하도록 하고 중앙정부는 법령정비·재정지원·제도연계 등을 뒷받침하는 식이다. 미래위는 이달 초 확대 출범식 이후 분과별로 정책 의제와 공약을 개발하고 있다. 이달 말까지 분과별 공약을 취합해 민주당 대선 후보에게 전달할 방침이다. 미래위는 ▲미래성장비전 ▲국가거버넌스 ▲미래혁신산업 ▲지식서비스발전 ▲외교·통상·산업 ▲K-방위산업 ▲에너지 ▲농축수산업 ▲사회통합전략 ▲금융혁신 ▲생성형국가전략 ▲지역성장동력 ▲바이오헬스 ▲글로벌디지털금융 ▲보건의료 ▲부동산·건설 등 총 18개 중앙정책 분과로 구분돼 있다. heyjin@newspim.com 2025-04-16 14:17

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