[세종=뉴스핌] 이경태 기자 = 세계 반도체 장비 분야 시가 총액 1위 기업이 경기도 화성에서 연구·개발(R&D)센터 설립을 위해 '첫 삽'을 뜬다.

산업통상자원부는 16일 오전께 경기도 화성에서 ASML의 화성 뉴 캠퍼스(New Campus) 기공식이 열린다고 15일 밝혔다.

ASML은 주로 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업으로, 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다. 

이 기업은 이번 화성 뉴 캠퍼스를 통해 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다. 오는 2025년까지 2400억원이 투자되며 뉴 캠퍼스 규모는 1만6000㎡규모다.

산업부는 이번 시설의 한국 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, 코트라 등과 함께 ASML과 긴밀히 협력해왔다. 지난해 11월에는 관계기관간 'ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약'이 체결되기도 했다.

지난 9월에는 '차세대 EUV 장비 규제 개선'을 발표, 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제가 지속적으로 완화되고 있다. 지난달 문동민 산업부 무역투자실장은 네덜란드 본사 방문해 추가적인 투자유치 협의를 이어왔다.

이번 화성 뉴 캠퍼스 조성을 통해 글로벌 반도체 장비업계에서 높은 위상을 차지하는 ASML과 국내 반도체 기업과의 협력이 더욱 긴밀해질 뿐더러 EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 기대된다.

문 실장은 "국내 첨단 반도체 클러스터 중 하나인 ASML의 화성 뉴 캠퍼스가 첫 삽을 뜰 예정이어서 기쁘다"며 "이번 시설이 우리나라의 '반도체 초강대국 달성전략' 추진과 함께 한국과 네덜란드 양국간 첨단산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것"이라고 말했다.

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