[서울=뉴스핌] 서영욱 기자 = 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 크리스토퍼 푸케 최고경영자(CEO)가 오는 12일 방한해 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 협력을 확대한다. 경기 화성시 동탄에 완공된 ASML 한국 신사옥 개소식 참석과 함께, 극자외선(EUV) 기술을 중심으로 한 차세대 반도체 공정 협력을 논의할 전망이다. 

11일 관련 업계에 따르면 ASML은 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 생산하는 기업으로, 초미세 반도체 제조의 핵심 파트너로 꼽힌다. ASML은 이번 신사옥 개소를 계기로 국내 반도체 기업들과 2나노미터(㎚) 이하 공정과 수직채널트랜지스터(VCT) D램 등 차세대 제품 개발 협력을 가속할 방침이다.

특히 삼성전자와 함께 약 7억유로(약 1조2000억원)를 투입하는 공동 연구개발(R&D)센터 프로젝트가 본격 추진될 것으로 보인다. 두 회사는 EUV 연구소와 R&D 전용 라인이 포함된 시설 부지 선정을 사실상 마무리 단계에 두고 있다.

업계에선 푸케 CEO가 방한 기간 중 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장을 만날 가능성도 점치고 있다. 이 회장은 유럽 출장 때마다 ASML 본사를 방문해 협력 관계를 다져왔으며, 최 회장도 지난해 말 네덜란드 본사를 찾은 바 있다. 이번 회동을 계기로 양사와 ASML 간 첨단 공정 협력이 한층 강화될 것으로 업계는 기대하고 있다.

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