이 기사는 5월 2일 오전 08시38분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체·디스플레이 장비업체 '제우스'가 고대역폭메모리(HBM)용 패키지 신규 장비인 '아톰(ATOM)'·'새턴(SATURN)' 양산에 본격 돌입했다.

제우스가 개발한 '아톰'과 '새턴'은 HBM 생산시 활용되는 실리콘관통전극(TSV) 세정 공정에 사용되는 HBM용 패키지 장비다. HBM은 수직으로 적층된 D램에 실리콘관통전극(TSV)으로 미세한 구멍을 뚫어 연결하는 과정에서 오염도에 민감하기 때문에 관련 장비가 요구된다.

제우스 관계자는 2일 "아톰·새턴의 실제 양산으로의 물량은 올해가 첫 해다. 첨단 패키징 공정에서 HBM 투자는 계속 있어질 것으로 보고 있기에 관련 장비 수요는 계속 늘어날 것으로 전망한다"며 "본딩 장비는 현재 개발이 진행 중에 있다. 추가적으로 양산 전환을 잘 시키는 것이 목적이며 본딩 관련 과제는 올해 말 종료될 예정이다"고 말했다.

아톰은 캐리어에서 웨이퍼를 떼어냈을 때 잔여물을 없애는 역할을, 새턴은 식각 공정 이후 구리(Cu) 등 잔여물을 날리는 공정에서 사용된다. 제우스는 HBM용 패키지 장비 상용화를 본격화하면서 신규 제품인 '임시본딩·디본딩장비(TBDB)' 개발에도 속도를 내고 있다.

제우스 로고. [사진=제우스]

제우스는 반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 싱글 웨이퍼 세정장비, 디스플레이 열 장비 등을 제조 및 판매하는 업체다. 주요 고객사는 삼성전자, SK하이닉스 등의 반도체 제조사와 LG디스플레이, 삼성디스플레이 등이 있다.

최근 시장은 인공지능(AI) 서비스 및 온디바이스 AI 기기의 등장에 HBM 수요가 급증하고 있다. 메모리업체의 생산 증설이 잇따르고 가운데 제우스는 관련 수혜를 통해 수익성이 크게 성장될 전망이다.

제우스는 지난해 기준, 반도체 장비가 전체 매출의 약 73%(매출액 2966억원)을 차지하면 전체 실적을 이끌었다. 로봇 사업이 17%(705억원), 플러그밸브 5%(222억원), 디스플레이 장비는 3%(130억원) 비중을 차지한다.

지난해 제우스는 연구개발(R&D)비용, HBM용 세정장비 개발 등의 투자로 매출액 4029억원, 영업이익 71억원으로 전년대비 아쉬운 실적을 기록했다.

올해는 반도체 장비 수요 증가로 역대 최대 실적을 기록할 전망이다. 금융정보업체 에프앤가이드 컨센서스(시장 평균 추정치)에 따르면 2024년 제우스 매출액은 5652억원, 영업이익 600억원을 기록할 것으로 전망됐다. 전년대비 각각 40.29%, 845% 증가하는 수치다.

김영건 미래에셋증권 연구원은 "제우스는 올해 반도체·로봇 사업 부문에서 큰 폭의 외형 성장이 기대된다"며 "매출액 성장은 반도체 부문이 가장 클 것으로 전망되며, 성장률 측면에서는 로봇이 클 것으로 보인다"고 전했다.

제우스 반도체 공정용 로봇.

제우스는 반도체·디스플레이 사업에 이어 로봇 사업도 성장궤도에 오를 전망이다.

1970년 무역회사로 설립된 제우스는 과거 일본의 로봇업체 산쿄(Sankyo)에서 지난 1995년 일본 로봇업체 산쿄에서 디스플레이 반송용 로봇을 들여오면서 로봇사업을 시작했다. 현재까지 수 천대의 로봇을 들여와 유지보수 사업을 이어오고 있다. 2019년 라이선스를 확보 후에는 산업용 6축 다관절 로봇인 '제로(ZERO)'를 상용화하면서 산업용 로봇 제조 사업에 진출했다.

올해는 로봇 사업에서 반도체 시장으로의 첫 진출에 나섰다. 지난해 제우스는 다관절 로봇에 매니퓰레이터(로봇 팔)가 부착된 '반도체 공정용' 로봇 개발을 완료하고, 지난달 글로벌 반도체 제조사에 공급에 성공했다. 그동안 외식업(F&B)과 화장품 산업 등에서 제우스의 로봇이 활용돼 왔지만, 반도체 공정 시장으로의 진출은 처음이다.

제우스는 "로봇은 반도체 시장 진출을 기반으로 시장 영역을 더욱 확장해 나갈 예정이다. 아시아 및 유럽 등 해외 시장도 적극적으로 공략하고 있으며, 로봇 사업의 매출 비중을 계속 높여갈 전망이다"고 밝혔다.

nylee54@newspim.com