AI 핵심 요약
beta- 그린광학이 22일 반도체 전공정 포토공정용 광학·센서 모듈 양산 공급을 시작했다고 밝혔다
- 공급 모듈은 S사 미세공정용 포토 설비에 탑재돼 웨이퍼 위치·감광액 처리 등 핵심 구동을 담당한다
- 그린광학은 후공정 기술력을 바탕으로 전공정 노광 시장으로 공급망을 넓혀 내년부터 물량 확대를 기대한다
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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 그린광학이 반도체 전공정 포토(노광) 공정 설비용 정밀 광학·센서 모듈 양산 공급을 시작했다고 22일 밝혔다.
공급 중인 제품은 국내 반도체 장비 기업이 생산하는 포토 공정 핵심 설비에 탑재되며, 해당 설비는 글로벌 반도체 기업 S사의 첨단 미세공정 제조라인에 공급돼 운용 중이다.
회사에 따르면 그린광학이 공급하는 제품은 노광 설비 내 구동을 담당하는 모듈로 구성된다. 웨이퍼의 미세한 위치와 안착 상태를 실시간으로 감지하는 고정밀 센서 모듈과 포토 공정 중 웨이퍼 외곽부의 감광액(PR, Photoresist) 처리에 활용되는 초정밀 광학 모듈이 포함된다. 그린광학은 전공정 장비 사양에 맞춘 테스트를 통과하며 품질 안정성을 입증했다.
이번 공급은 그린광학이 후공정(HBM 검사)에서 검증받은 기술력을 바탕으로 진입장벽이 높은 전공정 노광 설비 시장으로 공급망을 확장한 것이다. 이로써 반도체 전·후공정을 아우르는 핵심 광학 모듈 포트폴리오를 확보하게 됐다.
전방 산업에서 차세대 반도체 미세공정 투자와 국내 주요 장비 기업들의 수주 확대가 이어지는 가운데, 그린광학은 내년부터 관련 공급 물량이 확대될 것으로 예상하고 있다.
nylee54@newspim.com
