[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 에이루트의 반도체 장비 전문 자회사 앤에스알시(NSRC)가 기존 장비에 대한 대규모 계약이 임박한 가운데, 제품 포트폴리오 다각화에 나선다. 앤에스알시는 미세공정용 고해상도 반도체 노광장비 관련 기술 내재화에 성공했다고 14일 밝혔다. 이를 통해 글로벌 반도체 기업을 대상으로 다양한 제품을 공급해 수주 확대에 나설 방침이다.

앤에스알시는 반도체 노광장비를 매입 후 고객 요구 수준까지 장비를 고도화해 글로벌 반도체 기업에 공급하면서 독보적인 리퍼비시 기술력을 확보했다. 이를 바탕으로 기존 i-line(아이라인), KrF(불화크립톤) 노광장비에 이어 고부가가치 신규 장비까지 제품 포트폴리오를 다각화했다.

에이루트 로고. [사진=에이루트]

최근 글로벌 반도체 제조기업로부터 생산라인에 빠른 적용이 가능한 리퍼비시 장비에 대한 수요가 급증하고 있다. 신규 반도체 장비가 테스트 후 가동까지 평균 4개월에서 최대 1년 이상 소요되는 반면, 리퍼비시 장비는 신속한 도입이 가능하기 때문에 반도체 웨이퍼 생산라인 가동 지연을 최소화할 수 있다.

앤에스알시는 신규 고부가가치 노광장비 및 기존 노광장비를 기반으로 글로벌 반도체 시장 공략을 강화할 방침이다. 이를 위해 최근 노광장비 매입을 확대 중이며, 올해부터 미세공정용 고해상도 노광장비 확보에도 나설 것이라고 회사 측은 설명했다.

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