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[서울=뉴스핌] 김양섭 기자 = CCM(콤팩트 카메라 모듈) 및 반도체 검사장비 전문기업 팸텍 주식회사(대표이사 김재웅)는 17일 자동화된 반도체 분석용 시스템 특허를 출원했다고 밝혔다.
이번 특허의 정식 명칭은 '자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템'으로 다수의 반도체 웨이퍼 샘플들을 절단에서부터 폴리싱하는 과정까지의 모든 공정들을 자동화하여 생산성 향상은 물론, 공정 신뢰도 개선을 목표로 하고 있다.
팸텍 관계자는 "최근 반도체 디바이스의 제조공정 중 신규 소재 적용에 따른 구조의 미세화 촉진으로 인한 초기 불량이나 일정 시간 가동 후의 고장이 빈번하게 나타나고 있다. 이에 그 결함의 해석이 그 중요성을 더해가고 있어, 당사는 이러한 반도체 분석용 핵심장비를 자체기술력으로 개발해 국내는 물론 해외 진출을 위한 해외 특허출원도 준비 중에 있다"고 전했다.
한편 팸텍은 지난 3월 29일 열린 임시주주총회에서 하나금융19호스팩과의 합병승인 안건이 성공적으로 가결돼 오는 5월 상장을 앞두고 있다.
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| [사진=팸텍] |
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