[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 공정용 화학소재 전문 기업 램테크놀러지가 'TGV(반도체용 유리기판) 인터포저 제조 핵심기술 Glass Hole 식각 기술개발 관련 특허' 등록을 완료했다고 24일 밝혔다.
앞서 램테크놀러지는 해당 기술개발과 관련해 지난해 7월 특허 출원을 한 바 있다. 이후 심사를 거쳐 최종 등록을 완료했으며, 해당 기술의 독창성과 산업적 가치를 공식적으로 인정받게 됐다고 회사측은 설명했다.
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램테크놀러지 로고. [로고=램테크놀러지] |
램테크놀러지 연구개발 담당자는 "이번 특허 등록으로 TGV 공정에 필수적인 고정밀 식각 기술을 확보하게 됐다는 점에서 고무적으로 생각한다"며, "고객사 요구에 맞춘 다양한 홀 사이즈 구현, 식각 프로파일 최적화, 글라스 표면 규일도 및 투명성 개선 등 차별화된 기술력으로 시장에 진입할 계획이다"라고 전했다.
램테크놀러지는 특허 등록을 완료함에 따라 대내외적인 환경을 고려하여 TGV용 식각액의 상용화를 추진할 계획이다. 현재 고객사 평가를 진행하고 있으며, 반도체 소재 특성 상 타 산업군에 비해 고객사 평가에 시간이 소요되는 만큼 안정적인 제품 생산을 위해 노력할 계획이라고 밝혔다.
nylee54@newspim.com