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[ANDA 포커스] 아이에스티이, 'PECVD' 데모 장비 납품 추진

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AI 핵심 요약

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  • 반도체 장비 전문기업 아이에스티이가 PECVD 장비 개발을 완료하고 상반기 내 데모 장비 납품을 목표로 고도화 작업을 진행 중이다.
  • 기존 주력 장비인 FOUP 클리너의 안정적 수익에 더해 올해 신규 사업인 AI 데이터센터 사업을 본격화하며 4월부터 판매를 시작할 예정이다.
  • 폐플라스틱 열분해를 통한 청록수소 생산 사업도 추진 중으로 올해 설비 구축 완료 후 손익분기점을 넘어 흑자 전환을 목표로 하고 있다.

!AI가 자동 생성한 요약으로 정확하지 않을 수 있어요.

PECVD 후속 모델 성능 고도화 진행 "상반기 납품 목표"
'AI 데이터센터' 진출 본격화 "페가트론 협력, 내달 판매 예상"
"에너지 사업, 매출 확대...연내 흑자 전환 목표"

이 기사는 3월 19일 오전 07시57분 프리미엄 뉴스서비스'ANDA'에 먼저 출고됐습니다. 몽골어로 의형제를 뜻하는 'ANDA'는 국내 기업의 글로벌 성장과 도약, 독자 여러분의 성공적인 자산관리 동반자가 되겠다는 뉴스핌의 약속입니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 아이에스티이(ISTE)가 반도체 핵심 공정 장비인 플라즈마 강화 화학기상증착(PECVD·Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 앞세워 사업 구조 전환에 속도를 내고 있다. 반도체 장비 중심에서 고부가 장비, 인공지능(AI) 데이터센터, 에너지 사업으로 영역을 넓히며 성장 축을 다변화하고 있다.

아이에스티이는 PECVD 장비 개발을 완료하고 고도화 작업을 진행 중이다. 아이에스티이는 PECVD 장비 개발을 완료하고 고도화 작업을 진행 중이다. 올해 데모 장비 납품을 통해 이를 기반으로 공정 적용 가능성 검증을 진행할 계획이다

아이에스티이 관계자는 18일 "PECVD 장비 후속 모델은 성능 고도화를 진행 중으로 상반기 내 데모 장비 납품을 목표로 하고 있다"며 "지난해 첫 납품한 'SiRiUSⅠ'에 이어 생산성과 안정성을 개선한 'SiRiUSⅡ' 고객사 평가를 진행 할 예정"이라고 말했다.

[사진=아이에스티이]

아이에스티이가 개발한 PECVD 장비는 'SiRiUS' 시리즈로 구성된다. 싱글 타입 장비 'SiRiUSⅠ'은 지난해 11월 주요 고객사에 납품된 초기 상용 모델로, PECVD 시장 진입을 위한 레퍼런스를 확보한 장비다. 트윈 타입 장비 'SiRiUSⅡ'는 생산성과 공정 안정성을 개선한 후속 모델로, 양산 대응이 가능한 생산 효율성을 갖춘 것이 특징이다.

PECVD 장비는 반도체 공정에서 절연막과 보호막을 형성하는 핵심 설비로, 미세 공정과 고적층 구조에서 필수적인 역할을 한다. 화학기상증착(CVD)에 플라즈마를 결합한 방식으로 낮은 온도에서도 균일한 박막 형성이 가능해 열에 민감한 공정에 적합하다. 이에 따라 고대역폭메모리(HBM)와 하이브리드 본딩 등 차세대 패키징 공정에서 활용도가 확대되고 있다.

특히 아이에스티이가 개발 중인 SiCN-PECVD 장비는 구리 배선에서 전하 이동을 억제해 신호 지연을 줄이고 전력 효율을 개선하는 기능을 갖춘 것이 특징이다. 고성능 반도체 구현에 필수적인 공정 장비로 평가된다.

기존 주력 장비인 '풉 클리너(FOUP Cleaner)'는 안정적인 캐시카우 역할을 하고 있다. FOUP(Front Opening Unified Pod)는 반도체 웨이퍼를 보관·이송하는 핵심 용기로, 미세 오염 발생 시 수율에 직접적인 영향을 미친다. 아이에스티이는 커버와 바디를 분리 세정하는 기술을 통해 세정 효율과 생산성을 동시에 확보하며 경쟁력을 구축했다.

공정 미세화가 진행될수록 클리닝 공정 단계가 증가하는 만큼 FOUP 클리너 수요 역시 구조적으로 확대되는 흐름이다. 다만 최근 반도체 투자 업황 둔화 영향으로 고객사 설비 투자 집행이 지연되면서 단기 실적은 다소 부진했다. 지난해 매출 감소와 함께 영업적자를 기록하며 일시적인 실적 공백이 발생했다.

올해 들어 장비 부문을 중심으로 수주가 늘어나면서 실적 개선도 기대되고 있다. 장비부문 지난해 말 수주잔고와 올해 공시건을 합쳐 약 180억원 수준이다. 또한 삼성전자에 FOUP 인스펙션(FOUP Inspection) 데모 장비를 납품한 데 이어 FOUP 클리너 초도 물량 공급도 앞두고 있기에 제품 포트폴리오를 확장하며 장비 사업 전반의 매출 기반을 넓히는 모습이다.

아이에스티이 관계자는 "신제품 초도 물량 공급과 고객사 확대에 따라 매출 인식을 앞두고 있기에 올해 장비 사업은 긍정적인 흐름을 이어갈 것으로 보인다"고 설명했다.

아이에스티이 로고. [사진=아이에스티이]

또한 올해 신규 사업인 'AI 데이터센터' 사업도 본격화한다. 회사는 세계적인 전자제품 주문자 상표 부착 생산(ODM) 기업 '페가트론'과 전략적 협의를 진행하며 국내 AI 인프라 시장 진입을 준비 중이다. 반도체 장비 중심의 사업 구조에서 AI 인프라 유통·서비스 영역으로 확장하며 신규 매출원을 확보한다는 전략이다.

아이에스티이 관계자는 "페가트론이 제조한 AI 데이터센터용 서버를 국내에 소개·판매하는 형태의 제휴를 추진 중"이라며 "주주총회 이후 사업 목적 추가를 거쳐 4월부터 본격적인 판매가 가능할 것으로 예상된다"고 말했다. 이어 "정부의 AI 데이터센터 확대 정책과 맞물려 연내 가시적인 성과를 목표로 하고 있다"며 "제품 소개부터 판매, 구축까지 이어지는 역할을 수행할 계획"이라고 설명했다.

에너지 사업 역시 중장기 성장 동력으로 자리 잡고 있다. 아이에스티이는 폐플라스틱 열분해를 통해 수소를 생산할 수 있는 설비 기술을 확보했고, 이를 활용한 청록수소 생산 사업을 추진 중이다. 열분해유는 폐기물을 에너지 자원으로 전환하는 기술로 친환경 정책 확대와 맞물려 수요가 증가하는 분야다. 

에너지 사업의 핵심은 설계·조달·시공(EPC) 기반 사업으로, 현재 주력 매출은 수소 충전소 EPC에서 발생하고 있으며 수소 생산 설비 EPC도 일부 반영되고 있다. 여기에 더해 시멘트 공정 등 산업 EPC로 사업 영역을 확대하며 적용 산업을 다각화하고 있다.

아이에스티이 관계자는 "수소 충전소 EPC를 중심으로 시작해 생산 설비와 시멘트 등 산업 EPC로 확장하고 있다"며 "레퍼런스 축적과 함께 기술 경쟁력이 강화되면서 수익성도 점진적으로 개선되고 있다"고 설명했다. 이어 "에너지 사업은 아직 초기 단계로 적자를 기록하고 있지만, 올해 설비 구축이 완료되면 손익분기점(BEP)을 넘어 흑자 전환을 목표로 하고 있다"고 말했다. 지난해 기준, 에너지 사업 부문은 전체 매출의 약 30% 수준을 차지하고 있다.

nylee54@newspim.com

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삼성전자 DS 성과급 1인 평균 6억 [서울=뉴스핌] 김정인 기자 = 삼성전자 노사가 반도체를 담당하는 디바이스솔루션(DS) 부문에 사업성과의 10.5%를 재원으로 하는 특별경영성과급을 신설하기로 잠정 합의했다. 지급 상한을 따로 두지 않기로 하면서 사업성과 산정 기준과 실제 실적에 따라 메모리사업부 임직원의 성과급이 연봉 1억원 기준 최대 6억원 안팎까지 늘어날 수 있다는 관측이 나온다. 21일 업계에 따르면 삼성전자와 초기업노동조합 삼성전자지부는 전날 '2026년 성과급 노사 잠정 합의서'에 서명했다. 합의안은 기존 초과이익성과급(OPI) 제도를 유지하면서 DS부문에 별도의 특별경영성과급을 신설하는 내용을 담고 있다. [수원=뉴스핌] 류기찬 기자 = 김영훈 고용노동부 장관(가운데), 최승호 삼성전자 노조 공동투쟁본부 위원장(오른쪽), 여명구 삼성전자 디바이스솔루션(DS) 피플팀장이 20일 오후 경기 수원시 장안구 경기지방고용노동청에서 열린 삼성전자 노사교섭 결과 브리핑에서 손을 맞잡고 있다. 2026.05.20 ryuchan0925@newspim.com 특별경영성과급 재원은 노사가 합의해 선정한 사업성과의 10.5%로 정했다. 지급률 상한은 두지 않는다. 성과급 재원 배분은 DS부문 전체 기준 40%, 사업부 기준 60%로 나눠 이뤄진다. 공통 조직 지급률은 메모리사업부 지급률의 70% 수준으로 정했다. ◆ 상한 없어진 DS 보상…메모리 직원 6억 가능성 이번 합의안의 핵심은 성과급 상한 폐지다. 기존 OPI는 연봉의 최대 50%까지 지급되는 구조였지만, 새로 도입되는 DS부문 특별경영성과급은 지급 한도를 두지 않는다. 사업성과를 영업이익으로 가정할 경우 메모리사업부 임직원에게 돌아가는 성과급 규모는 크게 늘어날 수 있다. 올해 삼성전자의 영업이익 전망치를 300조원 안팎으로 놓고 계산하면, DS부문 특별경영성과급 재원은 약 31조5000억원 규모가 된다. 이 가운데 40%인 약 12조6000억원은 DS부문 전체 임직원에게 배분된다. DS부문 임직원 수를 약 7만8000명으로 보면 사업부와 관계없이 1인당 약 1억6000만원이 돌아가는 구조다. 나머지 60%인 약 18조9000억원은 사업부별 성과에 따라 배분된다. 파운드리와 시스템LSI 등 비메모리 사업부가 적자로 인해 사업부 배분에서 제외된다고 가정할 경우, 이 재원은 메모리사업부(약 2만8000명)와 공통 조직(약 3만명)에만 돌아가게 된다. 노사가 합의한 '1 대 0.7'의 지급률 비율을 적용해 계산하면, 메모리사업부 임직원은 1인당 약 3억8000만원, 공통 조직은 약 2억7000만원을 추가로 받게 되는 구조다. 메모리사업부 임직원이 기존 OPI로 연봉의 50%를 받을 경우 연봉 1억원 기준 약 5000만원이 더해진다. 이 경우 특별경영성과급과 OPI를 합친 총 성과급은 1인당 최대 6억원 안팎까지 늘어날 수 있다. 다만 이는 사업성과를 영업이익으로 가정한 계산이다. 합의서상 사업성과 산정 기준이 최종적으로 어떻게 정해지는지, 실제 실적이 어느 수준에서 확정되는지에 따라 지급액은 달라질 수 있다. ◆ 적자 사업부도 보상…2027년부터 차등 적용 비메모리 등 적자 사업부도 일정 수준의 성과급을 받을 수 있다. 합의안에 따르면 적자 사업부는 부문 재원을 활용해 산출된 공통 지급률의 60%를 적용받는다. 다만 이 기준은 1년 유예돼 2027년분부터 적용된다. 올해는 적자 사업부에도 DS부문 공통 배분 재원에 따른 성과급이 지급될 가능성이 있다. 사업성과를 영업이익으로 가정한 계산에서는 비메모리 부문 임직원도 최소 1억6000만원가량의 성과급을 받을 수 있다는 분석이 나온다. 특별경영성과급은 현금이 아닌 자사주로 지급된다. 세후 금액 전액을 자사주로 주고, 지급 주식의 3분의 1은 즉시 매각할 수 있다. 나머지 3분의 1씩은 각각 1년, 2년간 매각이 제한된다. DS부문 특별경영성과급 제도는 향후 10년간 적용된다. 2026년부터 2028년까지는 매년 DS부문 영업이익 200조원 달성, 2029년부터 2035년까지는 매년 DS부문 영업이익 100조원 달성이 조건이다. 임금 인상률은 평균 6.2%로 정해졌다. 기본인상률 4.1%, 성과인상률 평균 2.1%를 합친 수치다. 노사는 사내주택 대부 제도 도입과 자녀출산경조금 상향에도 합의했다. 자녀출산경조금은 첫째 100만원, 둘째 200만원, 셋째 이상 500만원으로 오른다. DX부문과 CSS사업팀에는 상생협력 차원에서 600만원 상당의 자사주를 지급하기로 했다. 협력업체 동반성장을 위한 재원 조성 및 운영 계획도 별도로 발표할 예정이다. 다만 잠정 합의안이 최종 확정된 것은 아니다. 노조는 조합원 찬반투표를 거쳐 합의안 수용 여부를 결정할 예정이다. 찬반투표에서 과반 찬성이 나오면 임금협약은 최종 타결된다. kji01@newspim.com 2026-05-21 07:45
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박수현 43.5% vs 김태흠 43.9% [서울=뉴스핌] 송기욱 기자 = 6·3 지방선거 충남지사 선거에 출마한 박수현 더불어민주당 후보와 김태흠 국민의힘 후보가 오차 범위 내 초접전을 벌이고 있는 것으로 조사됐다. 또 충남 도민 10명 중 8명 이상이 이번 지방선거에 투표하겠다는 의향을 밝혔다. ◆ 박수현 43.5% vs 김태흠 43.9%...오차 범위 내 0.4%p 초접전 종합뉴스통신사 뉴스핌 의뢰로 여론조사 전문기관 리얼미터가 지난 18일부터 19일까지 충남 거주 만 18세 이상 남녀 806명을 대상으로 실시한 충남지사 후보 지지도 조사 결과 박수현 후보 43.5%, 김태흠 후보 43.9%였다. 두 후보 간 격차는 0.4%p(포인트)로 오차 범위 안이다. '없음'은 4.6%, '잘 모름'은 8.1%였다. 지역별로는 김 후보가 천안시에서 45.0%를 기록해 박 후보(42.7%)보다 높게 조사됐다. 서남권(보령시·서산시·서천군·예산군·태안군·홍성군)에서도 김 후보는 48.8%로 박 후보(39.2%)보다 높았다. 반면 박 후보는 아산·당진시에서 47.1%를 기록하며 김 후보(37.5%)에 우세했고, 동남권(공주시·논산시·계룡시·금산군·부여군·청양군)에서도 46.0%로 김 후보(43.2%)를 웃돌았다. 연령별로는 김 후보가 만 18~29세에서 40.8%를 기록해 박 후보(31.5%)보다 높았다. 60대에서도 김 후보는 53.5%로 박 후보(41.2%)보다 높았고, 70세 이상에서는 김 후보 61.3%, 박 후보 26.9%였다. 반면 박 후보는 30대에서 40.2%로 김 후보(39.2%)를 소폭 웃돌았다. 40대에서는 박 후보 61.7%, 김 후보 29.2%였고, 50대에서는 박 후보 56.3%, 김 후보 36.0%로 크게 앞섰다.  성별로는 남성층에서 김 후보가 47.1%를 기록해 박 후보(44.1%)보다 높았다. 여성층에서는 박 후보 42.8%, 김 후보 40.5%였다.  정당 지지층별로는 집권 여당인 더불어민주당 지지층의 84.6%가 박 후보를 지지한다고 답했다. 제1야당인 국민의힘 지지층의 89.4%는 김 후보를 택했다. 조국혁신당 지지층에서는 박 후보 64.5%, 김 후보 24.0%였다. 개혁신당 지지층에서는 김 후보 48.5%, 박 후보 31.0%였다. 투표 의향별로는 '반드시 투표하겠다'는 적극 투표층에서 박 후보가 48.8%로 김 후보(45.2%)보다 높았다. 반면 투표 의향층 전체에서는 김 후보 46.2%, 박 후보 43.8%였다. 투표 의향이 없다는 응답층에서는 박 후보 44.6%, 김 후보 27.7%였다. ◆ 충남도민 83.7% "지방선거 투표하겠다" 투표 의향은 83.7%가 투표하겠다고 답했다. '반드시 투표' 66.1%, '가급적 투표' 17.7%였다. 반면 '별로 투표할 생각 없음' 6.0%, '전혀 투표할 생각 없음' 8.0%였다. 권역별 투표 의향은 동남권 85.4%, 서남권 84.1%, 천안시 83.6%, 아산·당진시 82.3%였다. 전 권역에서 투표 의향층은 80%를 넘었다. 연령별로는 60대가 91.3%로 가장 높았고, 50대 89.7%, 70세 이상 88.9%, 40대 88.3% 순이었다. 뒤이어 30대는 72.5%, 만 18~29세 63.1%였다. 이번 여론조사는 휴대전화 가상(안심)번호를 무작위로 추출해 자동응답조사(ARS)방식으로 진행됐다. 표본오차는 95% 신뢰수준에 ±3.5%p, 응답률은 8.2%다. 2026년 4월 말 행정안전부 주민등록 인구를 기준으로 성별, 연령별, 지역별 가중치(림가중)를 적용했다. 자세한 사항은 중앙선거여론조사심의위원회 홈페이지를 참조하면 된다. oneway@newspim.com 2026-05-21 05:00
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긍정 영향 종목

  • Lockheed Martin Corp. Industrials
    우크라이나 안보 지원 강화 기대감으로 방산 수요 증가 직접적. 미·러 긴장 완화 불확실성 속에서도 방위산업 매출 안정성 강화 예상됨.

부정 영향 종목

  • Caterpillar Inc. Industrials
    우크라이나 전쟁 장기화 시 건설 및 중장비 수요 불확실성 직접적. 글로벌 인프라 투자 지연으로 매출 성장 둔화 가능성 있음.
이 내용에 포함된 데이터와 의견은 뉴스핌 AI가 분석한 결과입니다. 정보 제공 목적으로만 작성되었으며, 특정 종목 매매를 권유하지 않습니다. 투자 판단 및 결과에 대한 책임은 투자자 본인에게 있습니다. 주식 투자는 원금 손실 가능성이 있으므로, 투자 전 충분한 조사와 전문가 상담을 권장합니다.
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