부론일반산업단지에 소형 방사광가속기·첨단 EUV 검사장비 연구·생산시설 구축
[원주=뉴스핌] 이형섭 기자 = 강원 원주시는 1일 시청 7층 투자상담실에서 ㈜이솔과 505억 원 규모의 투자유치 협약(MOU)을 맺었다.
이번 협약은 부론일반산업단지에 소형 방사광가속기와 첨단 EUV(극자외선) 반도체 검사장비 연구·생산시설을 조성하는 사업이다.
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원주시, ㈜이솔과 505억 원 규모 EUV 반도체 투자협약 체결.[사진=원주시] 2025.10.01 onemoregive@newspim.com |
이솔은 국내 유일 EUV 반도체 결함 리뷰 장비 개발사로, 다수의 정부 R&D 과제를 수행하며 기술력을 인정받았다. 산업통상자원부가 이솔의 EUV 기술을 국제표준으로 제안할 정도로 국가적 신뢰를 받고 있으며, 세계 최초로 EUV 펠리클 투과측정장비, EUV 마스크 위상 측정장비, EUV 간섭 패터닝 장비를 개발해 글로벌 경쟁력을 확보했다. 현재 국내외 특허 61건을 보유하고 있다.
원주시는 산업단지 5곳에 총 473만㎡ 부지를 확보하고 반도체교육원과 테스트베드를 구축해 반도체 산업 기반을 강화해왔다. 이번 투자로 약 100여 개의 양질의 일자리가 창출되고, 지역 협력사와 연구기관 유입으로 산업 생태계가 고도화될 전망이다.
특히 이번 협약은 원주시의회의 동의를 얻은 특별지원 투자보조금 1호 사례로, 2027년부터 3년간 매년 50억 원씩 보조금이 지원된다. 원강수 원주시장은 "이솔의 첨단 기술과 원주의 지원이 만나 지역 경제와 산업 발전을 가속할 것"이라고 말했다.
이솔 김병국 대표는 "컴팩트 방사광 가속기 상용화를 기반으로 EUV 장비와 시너지를 극대화해 나노소재와 바이오 산업 혁신을 이끌겠다"고 밝혔다.
이번 협약은 원주가 반도체 산업 불모지에서 인력 양성, 테스트베드 구축, 산업단지 조성, 기업 유치의 4대 전략으로 신성장 동력을 창출하는 중요한 전환점으로 평가받고 있다.
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